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Bei der Feinverdrahtung ist eine Menge von Signalnetzen gegeben, deren Anschlüsse während der Platzierung einer Geometrie auf dem Wafer zugeordnet wurden.
de.wikipedia.org Ziel ist es, möglichst anisotrop zu ätzen, das heißt richtungsabhängig, senkrecht zur Wafer-Oberfläche.
de.wikipedia.org Dort werden ausschließlich Prozessoren produziert, genauer gesagt die Wafer mit vielen Prozessoren darauf.
de.wikipedia.org Für die Berechnung der Chipausbeute wird die maximale Anzahl von (ganzen) Chips auf einem Wafer benötigt.
de.wikipedia.org Eine Flutbelichtung des gesamten Wafers bewirkt in den noch unbelichteten Bereichen die Bildung von 3-Indencarbonsäure und macht diese Bereiche löslich gegenüber dem alkalischen Entwickler.
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