The seed granules are fed into a chamber that has heated silane gas entering from below and exiting above.
The flow of gas “fluidizes” the silicon granules, causing them to flow like a liquid, as the silane gas breaks down and deposits silicon layers on them.
The granules grow larger and heavier and exit when they are sufficiently large.
www.recgroup.comDas Impfkristall-Granulat wird in eine Kammer gegeben, in die von unten erhitztes Silangas eingeleitet wird, das an der Oberseite wieder austritt.
Die dabei entstehende Strömung des Gases „wirbelt“ das Silizium-Granulat auf, wodurch es wie eine Flüssigkeit strömt, während das Silangas zerfällt und Silizium-Schichten auf dem Granulat ablagert.
Die Körner werden immer größer und schwerer und verlassen die Kammer, sobald sie groß genug sind.
www.recgroup.comИскате ли да добавите дума, израз или превод?
Изпратете ни нов запис.