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Des Weiteren gibt es eine hohe Flächenfehlerkorrekturrate, die durch Staubkörner oder Kratzer auf der CD Oberfläche ausgelöst werden.
de.wikipedia.org Nachteilig ist jedoch, dass die Maske bzw. der auf dem Wafer aufgebrachte Fotolack durch den Kontakt beschädigt werden kann, z. B. wenn sich ein Staubkorn zwischen beiden befindet.
de.wikipedia.org Besonders niedrig ist die Grenzgeschwindigkeit bei einem Körper, der leicht ist (z. B. Staubkorn) oder eine große Querschnittsfläche hat (z. B. Laubblatt, Fallschirm).
de.wikipedia.org So bilden sie Staubkörner, die langsam weiter anwachsen und in die Zentralebene der Scheibe wandern.
de.wikipedia.org Folgende Modellvorstellung bietet eine mögliche Erklärung für das beobachtete Phänomen: „Die Sonnenstrahlen erwärmen im Eis eingeschlossene Staubkörner.
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